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繞開(kāi)EUV光刻機(jī)的光芯片，有什么能耐？	[2023/11/6 9:32:22]
新聞資訊－IT業(yè)界－新聞 — 芯片一樣，必須使用EUV等極高端光刻機(jī)，這意味著光芯片完全有機(jī)會(huì)擺脫光刻機(jī)的“卡脖子”問(wèn)題。以清華大學(xué)前不久研發(fā)的ACCEL芯片為例，其光學(xué)部分的加工最小線寬僅采用百納米級(jí) 全文
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